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1.炉体结构特点

钟罩式炉的炉体主要由钟罩(上炉体)、炉底和炉膛内构件三部分组成,

(1)上炉体钟罩式炉的炉顶和炉壁合为一体,构成上炉体,外形酷似钟罩,故而得名。离子轰击加热装置的炉壁多为双层水冷的圆筒结构。由于内壁承受外压力最大,故其厚度比外壁厚。通常,内壁为6mm,外壁为3mm,采用碳钢板或不锈钢板卷焊而成。水套厚度约为10mm,进水口设在最下边,出水口设在最上边。为了使冷却更充分,还可分别对炉顶、炉体和炉底设置三套进水和出水口。为了观察炉内情况,应在炉壁适当处装设观察窗。

离子轰击加热装置的炉顶结构通常为圆拱形,因圆拱形有较高的承压能力,故厚度可稍薄些。并式炉和组合式炉的炉顶常加装阴极吊挂装置,以处理长杆件。

(2)炉底炉底一般用8-20mm厚钢板制成,冷却水套厚10-20mm。炉底上固定有阴极托盘,工件放置在阴极托盘上,阴极引线由托盘下部引出。设计阴极托盘或阴极吊挂装置时必须考虑绝缘、密封耐温和使用方便。在绝缘材料与阴极辉光接触的部位,应采用间隙屏蔽装置,以避免产生弧光,这一点十分重要。通常,炉底上还装设有出气口(直径10-20mm)、阳极接线柱、真空计接头、热电偶引线装置以及各种炉内构件引出装置等。

(3)炉膛炉腰的容积主要根据放置工件的要求以及必要的炉内构件尺寸和位置来决定,要保证使炉内气体有自由流动的空间。炉内构件通常包括进气管、内阳极、隔热屏、辅助阴极、辅助加热器及热电偶等。进气管大多由炉底引入至炉顶部开口,其直径约为10-12mm,根据需要,可以设置一根或多根进气管。炉膛内加装的内阳极还可以起隔热屏的作用,内阳极通过炉底的阳极接线柱引出炉外。炉内设置隔热屏是为了节能和使工件温度更均匀。设置辅助热源和辅助阴极的主要目的,是为了使炉膛内的温度更加均匀

(4)密封离子轰击加热装置的炉体一定要密封,密封的主要部分包括炉体与炉底的接触面,阴、阳极接线柱等各种炉内构件在炉底的引出部位,以及送气与抽气管路同炉体的连接处等。密封炉内的极限真空度应能达到67Pa。炉罩与炉底之间密封的面积最大,通常采用棒径为10~16mm的真空橡皮圈,靠真空负压和自重密封;其它部位一般要用螺钉将真空橡皮圈压紧才能达到密封要求。炉罩与炉底的密封槽最好加工成燕尾槽,或采用矩形槽。

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